标王 热搜: ABB  加盟  原油  网15807577772  打包机  紫外线消毒器  专利申请  气动卧闸  风水联动喷雾  诚信 
 
当前位置: 首页 » 招商 » 机械及行业设备 »
点击图片查看原图

Hakuto 离子蚀刻机 10IBE

  • 发布日期:2021-01-14 11:29
  • 有效期至:长期有效
  • 招商区域:全国
  • 浏览次数2
  • 留言咨询
 
详细说明
   上海伯东日本原装进口适合小规模量产使用和实验室研究的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 无污染, 内部使用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 产生轰击离子; 终点检出器采用 Pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分, 判断刻蚀情况.


Hakuto 离子蚀刻机 IBE 主要优点

1. 干式制程的微细加工装置, 使得在薄膜磁头, 半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用.

2. 物理蚀刻的特性, 无论使用什么材料都可以用来加工, 所以各种领域都可以被广泛应用.

3. 配置使用美国考夫曼离子源

4. 射频角度可以任意调整, 蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等等加工形状.

5. 基板直接加装在直接冷却装置上, 所以可以在低温环境下蚀刻.

6. 配置公转自转传输机构, 使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面.

7. 机台设计使用自动化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生产过程.


 

Hakuto 离子蚀刻机 10IBE技术参数:

基板尺寸

< Ф8 X 1wfr

 可选

样品台

直接冷却(水冷)0-90 度旋转

离子源

4 cm,8cm,10cm,16cm
考夫曼离子源

均匀性

±5% for 4”Ф

硅片刻蚀率

20 nm/min

温度

<100


 

Hakuto 离子蚀刻机 10IBE 组成:
 


Hakuto 离子蚀刻机通氩气 Ar 不同材料的蚀刻速率:
 

 

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐

T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161

F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049

M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958

 

ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw

 

伯东版权所有, 翻拷必究!

 
 
 
 
[ 招商搜索 ]  [ 加入收藏 ]  [ 告诉好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 违规举报 ]  [ 关闭窗口 ]

0条 [查看全部]  相关评论

 
联系方式
您还没有登录,请登录后查看联系方式
免费注册为会员后,您可以...
发布供求信息 推广企业产品
建立企业商铺 在线洽谈生意
还不是会员,立即免费注册
 
该企业最新招商
 
网站首页 | 关于我们 | 联系方式 | 使用协议 | 版权隐私 | 网站地图 | 排名推广 | 广告服务 | 积分换礼 | 网站留言 | RSS订阅