标王 热搜: BC第三方支付接口  包装机  打包机  风动链锯  泰国试管  轻质逃生管道  磁力钻  补习班加盟  南通  加盟 
 
当前位置: 首页 » 资讯 » 行业资讯 » 正文

Hakuto 离子蚀刻机 10IBE 用于制作闪耀罗兰光栅

放大字体  缩小字体 发布日期:2021-01-14  浏览次数:1
核心提示:长春某研究所在制作闪耀罗兰光栅的研究中采用伯东Hakuto离子蚀刻机10IBE,制造出的闪耀罗兰光栅比其他工艺制造的光栅产品整体衍射
 长春某研究所在制作闪耀罗兰光栅的研究中采用伯东 Hakuto 离子蚀刻机 10IBE,制造出的闪耀罗兰光栅比其他工艺制造的光栅产品整体衍射效率高25%, 实现高衍射效率闪耀罗兰光栅制作且工艺可控、稳定所制作的闪耀罗兰光栅衍射效率高于市场同类产品.

 

Hakuto 离子蚀刻机 10IBE 技术参数:

portant;">

基板尺寸

portant;">

< Ф8 X 1wfr

portant;">

样品台

portant;">

直接冷却(水冷)0-90 度旋转

portant;">

离子源

portant;">

16cm 考夫曼离子源

portant;">

均匀性

portant;">

±5% for 4”Ф

portant;">

硅片刻蚀率

portant;">

20 nm/min

portant;">

温度

portant;">

<100

 

 

Hakuto 离子刻蚀机 10IBE 离子源是配伯东公司代理美国考夫曼博士创立的 KRI考夫曼公司的考夫曼离子源 KDC 160


Hakuto 离子刻蚀机 10IBE 
真空腔采用 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 700, 可抽的真空度 < 1 · 10-7 hpa, 良好的保持真空腔的真空度.

 

 

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw

伯东版权所有翻拷必究!

 
 
[ 资讯搜索 ]  [ 加入收藏 ]  [ 告诉好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 违规举报 ]  [ 关闭窗口 ]

 
0条 [查看全部]  相关评论

 
推荐图文
推荐资讯
点击排行
 
网站首页 | 关于我们 | 联系方式 | 使用协议 | 版权隐私 | 网站地图 | 排名推广 | 广告服务 | 积分换礼 | 网站留言 | RSS订阅