标王 热搜: 打包机  紫外线消毒器  岗亭  南通  净化工程公司  金融  指数  网15807577772  ABB  加盟 
 
发布信息当前位置: 首页 » 采购 » 电子/电气/仪器 »

Hakuto离子蚀刻机20IBE-J 用于光学器件精密加工

点击图片查看原图
需求数量:
价格要求:
包装要求:
所在地: 默认地区
有效期至: 长期有效
最后更新: 2021-01-14 14:29
浏览次数: 1
报价
公司基本资料信息
 
 
详细说明
 某光学器件制造商采用伯东 Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 应用于光学器件精密加工通过蚀刻工艺提高光学器件聚酰亚胺薄膜的表面光洁度.

 

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 技术参数

 

Φ4 inch X 12

基片尺寸

Φ4 inch X 12

Φ5 inch X 10

Φ6 inch X 8

均匀性

±5%

硅片刻蚀率

20 nm/min

样品台

直接冷却,水冷

离子源

Φ20cm 考夫曼离子源

 

Hakuto 离子刻蚀机 20IBE-J 的核心构件离子源采用的是伯东公司代理美国 考夫曼博士创立的 KRI考夫曼公司的射频离子源 RFICP220

 

 

采用伯东 Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 可以使 PVRMS分别为1.347μm340nm的粗糙表面, 通过蚀刻其粗糙度可降低至75nm13nm; PVRMS分别为61nm8nm的表面, 其粗糙度可降低至9nm1nm. 刻蚀工艺能有效提高光学器件聚酰亚胺薄膜的表面光洁度.

 

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
 

伯东版权所有翻拷必究!

0条 [查看全部]  相关评论
 
更多»同类采购

[ 采购搜索 ]  [ 加入收藏 ]  [ 告诉好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 违规举报 ]  [ 关闭窗口 ]

 
网站首页 | 关于我们 | 联系方式 | 使用协议 | 版权隐私 | 网站地图 | 排名推广 | 广告服务 | 积分换礼 | 网站留言 | RSS订阅